财富牛光刻机概念再度领涨！年内最高涨超3倍平均涨幅近50%

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　　国产替代的大背景下，9月19日半导体产业链走强，其中光刻机方向再度领涨。截至早间收盘，波长光电大涨15%，腾景科技涨超14%，华软科技、西陇科学、凯美特气、永新光学、海立股份等多股涨停，瑞联新材、华亚智能等涨超8%。

　　光刻机国产替代势在必行

　　光刻机是晶圆制造最核心设备之一，技术难度最高且当前国产化率最低。在半导体制造领域，光刻机是延续摩尔定律的核心装备。当前最高端的产品为ASML研发的EUV光刻机，能支持 7nm 甚至更先进工艺，是延续摩尔定律的核心突破，正推动半导体产业持续迭代。

　　全球光刻机市场呈现出明显的寡头垄断格局，ASML、Nikon和Canon三家公司长期占据全球光刻机市场的主导地位。其中，ASML凭借其在高端光刻机领域的技术优势，2024年占据了全球光刻机市场61.2%的份额，特别是在EUV光刻机领域，ASML是全球唯一的供应商。尼康和佳能则主要集中在中低端光刻机领域。

　　公开资料显示，ASML第一大股东是美国资本国际集团（Capital Research andManagement Company），拥有15.81% 股权。第二大股东是美国贝莱德集团（BlackRock Inc.），拥有7.95% 持股。第三大股东是英国巴美列捷福投资（Baillie Gifford），拥有4.54% 股份。剩下股权都非常分散，持股机构高达1 千多家，但均为低于3%的法人、小股东。总体来说ASML受美国资本控制，这也是为何ASML虽是荷兰企业，却服从美国法令的原因。

　　业内人士指出，中国目前是ASML光刻机最大的客户，2024年因晶圆厂扩产景气度及超额备货的因素中国区收入占比爆发增长至41%。海外制裁持续加剧，光刻机等核心科技受制于人的背景下，国产替代势在必行。

　　国产光刻机取得显著进展财富牛

　　光源是光刻机的核心之一，光刻机的工艺能力首先取决于其光源的波长，业内主流观点依据光源波长将现有的光刻机技术分为五代。

　　第一、二代光刻机均为接触接近式光刻机，曝光方式为接触接近式，G线（G－line）光刻机，使用的是436nm波长的光源。而I线（I－line）使用的是365nm波长的光源，这两种光刻机，也叫作紫外光刻机。

　　而第三代升级为投影式光刻机，利用光学透镜可以聚集衍射光提高成像质量将曝光方式升级为光学投影式光刻，以扫描的方式实现曝光。这一代叫作KrF光刻机，采用248nm光源的光刻机。

　　第四代的ArF光刻机，与第三代KrF原理一样，但光源升级，采用193nm光源的光刻机，这两种称之为DUV光刻机，也叫作DUV光刻机。

　　而第五代叫作ArFi，前面三个字母相同，因为采用的也是193nm光源，但这种又与ArF不一样，之前所有的光刻机其介质采用的是空气，但到了ArFi时，采用的是水。光线在经过水时，会有折射，所以虽然ArFi光刻机采用193nm波长光源，等经水折射时，等效于134nm波长的光源，所以这种光刻机，又叫作浸润式光刻机。

　　国金证券表示，自“02专项”以来，以上海微为代表的光刻机整机公司在部分制程上已取得较为显著的成绩，完成了终端的0到1突破，在低端环节后续有望迎来产业端放量；在高端整机环节，2024年工信部发布的《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》中将国产KrF及ArF光刻机明确列入，标志着我国在DUV光刻机已取得明确进展。